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| 研究生： |
陳思豪 Chen, Sih-Hao |
|---|---|
| 論文名稱： |
氨電漿處理將氮摻雜二氧化鉿之鐵電鰭式閘極矽鍺通道電晶體研究 Investigation of N doped HfO2 by NH3 plasma treatment of Ferroelectric Si0.8Ge0.2 FinFET |
| 指導教授： |
吳永俊
Wu, Yung-Chun |
| 口試委員: |
侯福居
Hou, Fu-Ju 朱鵬維 Chu, Peng-Wei |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 66 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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