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| 研究生： |
徐任賢 |
|---|---|
| 論文名稱： |
化學機械拋光中拋光墊特性與損耗關係之研究 The Relationship between Wear and Mechanical Properties of The CMP Pad |
| 指導教授： |
左培倫
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| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2001 |
| 畢業學年度： | 89 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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