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| 研究生： |
陳品璇 Chen, Pin Hsuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
以氨氣電漿處理提升氧化鋯鉿鐵電元件之可靠度 Enhanced Device Reliability for HfZrOx-based Ferroelectric MFM Capacitor by NH3 Plasma Treatment |
| 指導教授： |
巫勇賢
Wu, Yung Hsien |
| 口試委員: |
陳旻政
黃智方 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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