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| 研究生： |
張文瑞 Zhang, Wen Rui |
|---|---|
| 論文名稱： |
以二氟次矽基與四氯甲烷、四鹵化鍺為先驅物製作薄膜之研究 The study of the thin films growth by using tetrachloromethane､germanium tetrahalide and difluorosilylene as precursors |
| 指導教授： |
劉兆玄
Liu, Zhao Xuan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 畢業學年度： | 84 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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