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| 研究生： |
吳鈞 Wu, Jun |
|---|---|
| 論文名稱： |
鋁合金薄膜化學機械拋光與材料特性之研究 Material Characteristics and Chemical-Mechanical Polishing of Aluminum Alloy Thin Films |
| 指導教授： |
張一熙
Chang, Y. S. |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 85 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 41 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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