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| 研究生： |
吳俊毅 Wu, Jyun-Yi |
|---|---|
| 論文名稱： |
原子層化學氣相沉積之高介電材料於閘極氧化層與電荷能陷儲存記憶體之應用 Atomic Layer Deposition of High-k Materials for Gate Dielectric and Charge Trap Memory Application |
| 指導教授： |
林樹均
Lin, Su-Jien |
| 口試委員: |
甘炯耀
曾俊元 江建德 洪天爵 林樹均 |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2011 |
| 畢業學年度： | 99 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 132 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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