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| 研究生： |
林春桃 Chun-Tao Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
以低壓化學氣相沈積法配合兩階段快速熱處理對閘極氮化矽電特性之影響 Electrical Properties of Gate Silicon Nitride Formed by LPCVD with Two-Step RTP |
| 指導教授： |
王 天 戈
Tien-Ko Wang 張 廖 貴 術 Kuei-Shu Chang-Liao |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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