研究生: |
萬文愷 |
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論文名稱: |
以快速退火製作矽化鈦薄膜性質之研究 Properties of TiSi2 formed by rapid thermal annealing |
指導教授: | 吳信田 |
口試委員: | |
學位類別: |
博士 Doctor |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 87 |
語文別: | 中文 |
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