研究生: |
楊智勝 Zhi-Sheng Yang |
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論文名稱: |
矽基材平面光波導元件,Y-Beanch 之微影製程研究 Panel Optic Waveguide device on silicon base, Lithofraphy Study for Y-Branch device |
指導教授: |
蔡春鴻
Chun-Hong Tsai |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2003 |
畢業學年度: | 91 |
語文別: | 中文 |
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