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| 研究生： |
曾章和 Tseng, Chang-Ho |
|---|---|
| 論文名稱： |
以ECR-CVD系統合成非晶質碳氮膜之研究 Research On The Amorphous Carbon Nitride Films Synthesized By ECR-CVD System |
| 指導教授： |
施漢章
Shih, Han |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 86 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 95 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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