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| 研究生： |
林溥如 Puru Lin |
|---|---|
| 論文名稱： |
電將輔助化學氣相沉積氮氧化矽層陣列波導光柵設計與應用 Design and Fabrication of PECVD SiOxNy Array Waveguide Grating |
| 指導教授： |
黃瑞星
Ruey-Shing Huang 葉鳳生 Fon-Shan Yeh 吳清沂 Chin-Yi Wu 趙偉忠 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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