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| 研究生： |
王世昌 |
|---|---|
| 論文名稱： |
不同佈植與後續退火參數對於矽化硼分子離子技術的特性影響研究 Influence of various implantation and annealing parameters on the characteristics of BSi molecular ion implantation technique |
| 指導教授： | 梁正宏 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 論文出版年： | 2006 |
| 畢業學年度： | 94 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 89 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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