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| 研究生： |
朱家君 Chu, Chia Chun |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於質量與懸浮微粒感測之單晶矽熱致動壓阻感測式微機械振盪器研製 SOI Thermal-piezoresistive Micromechanical Oscillators for Mass and Aerosol Sensing Applications |
| 指導教授： |
李昇憲
Li, Sheng Shian |
| 口試委員: |
徐萬泰
Hsu, Wan Tai 方維倫 Fang, Weileun 羅丞曜 Lo, Cheng Yao 陳姿名 Chen, Tzu Ming |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2016 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 114 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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