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| 研究生： |
林宗儒 Lin, Tsung-Ju |
|---|---|
| 論文名稱： |
感應耦合電漿輔助化學氣相沉積石墨烯輔助奈米銅內連線之電性研究與分析 Electrical Properties and Analysis of ICP-CVD Graphene on Copper Interconnects |
| 指導教授： |
邱博文
Chiu, Po-Wen |
| 口試委員: |
張文豪
Chang, Wen-Hao 李奎毅 Lee, Kuei-Yi |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 106 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 65 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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