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| 研究生： |
紀柏享 Chi, Po-Hsiang |
|---|---|
| 論文名稱： |
以感應耦合電漿質譜法進行半導體材料中微量元素之固體直測分析及濃度縱深分佈之研究 Development of direct solid analysis and depth profiling technique using ICP-MS for the determination of trace elements in semiconductor materials |
| 指導教授： |
楊末雄
Yang, Mo-Hsiung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 生醫工程與環境科學系 Department of Biomedical Engineering and Environmental Sciences |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 126 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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