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| 研究生： |
呂安云 Lu, An-Yun |
|---|---|
| 論文名稱： |
合成多種錫團簇及含鹵素之錫團簇結構開發並應用於電子束微影與極紫外光干涉微影 Synthesis of Various Tin Clusters and Development of Tin Clusters Structures Containing Halogen Apply to E-Beam Lithography and Extreme Ultraviolet Photoresist |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
邱博文
Chiu, Po-Wen 許博淵 Shew, Bor-Yuan |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2020 |
| 畢業學年度： | 108 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 423 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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全文公開日期 2025/07/22 (校內網路)全文公開日期 2025/07/22 (校外網路)