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| 研究生： |
林晏鴻 Lin, Yen-Hung |
|---|---|
| 論文名稱： |
發展先進半導體晶圓後段互連製程引發之翹曲量預測方法 Development of Prediction Methodology Applied to Process-Induced Warpage of Advanced Semiconductor BEOL Interconnects |
| 指導教授： |
李昌駿
Lee, Chang-Chun |
| 口試委員: |
鄭仙志
Cheng, Hsien-Chie 施孟鎧 Shih, Meng-Kai |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 101 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2028/08/12 (校內網路)全文公開日期 2028/08/12 (校外網路)