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| 研究生： |
黃震麟 Cheng-Lin Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
製程對濺鍍氮化矽薄膜光學性質、應力行為與熱機械性質影響於磁光結構之研究 Effects of Processing Conditions on the Stress Behaviors and Properties of Sputtering Silicon Nitride Thin Film for Magneto-Optical Structure |
| 指導教授： |
賴志煌
Chih-Huang Lai |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 150 |
| 相關次數： | 點閱：5 下載：0 |
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