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| 研究生： |
黃光宇 Guang-Yu Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
可溶性聚亞醯胺在KrF準分子雷射LIGA上的應用 Application of Soluble Polyimide in KrF Excimer Laser LIGA Process |
| 指導教授： |
李育德 博士
Dr. Yu-Der Lee 楊啟榮 博士 Dr. Chii-Rong Yang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 化學工程學系 Department of Chemical Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 91頁 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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