簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
蔡秉諺 Pin-Yian Tsai |
|---|---|
| 論文名稱： |
單一半導體奈米線之電性研究 Study on electrical properties of single semiconductor nanowires |
| 指導教授： |
果尚志
S. Gwo |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 論文出版年： | 2008 |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 中文關鍵詞： | 奈米線 、二極體 、操控 、電性 、氧化鋅 、氮化鎵 |
| 外文關鍵詞： | nanowire, diode, manipulation, electrical properties, ZnO, GaN |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
本論文主要研究一維奈米線材的電性量測、操控、與組裝。充分應用奈米操控系統的優勢，嘗試發展出快速測定一維奈米線材半導體特性的方式。並使用奈米操控系統對於奈米線材做出精密操控與組裝，以製作成氧化鋅/氮化鎵異質結構二極體，並可針對此二極體的電性與光性做測量。本論文中詳細敘述使用奈米操控系統所實現的不同量測方式，以奈米操控系統的探針改變場效應電晶體中閘極的結構形式量測奈米線的場效應趨勢，藉此判定奈米線的半導體特性。另於論文中描述使用奈米操控系統組裝奈米線於特定位置的操控過程。挑起單根氧化鋅奈米線擺放於氮化鎵薄膜的流程，以及氮化鎵薄膜製成指叉式電極所需的黃光微影、蝕刻等製程及製成元件的流程，及後續的電性與光性量測。
本論文中實現對於單根奈米線的操控，對於量測單根奈米線材或以單根奈米線材製作元件做出一個有效的示範。相信此方式對於未來研究一維材料的電性、光性或組裝精密的奈米元件提供一個有趣的方向。
1.Iijima, S. Nature 354, 56–58 ( 1991).
2.J. W. G. Wildoer, L. C. Venema, A. G. Rinzler, R. E. Smalley, and C. Dekker, Nature (London), 391, 59-62 (1998).
3.C. M. Lieber. Sci. Am, 58 (2001).
4.T. W. Odom, J. L. Huang, P.kim, and C. M. Lieber, Nature (London), 391, 62-64 (1998).
5.A.M. Morales, and C.M. Lieber, Science, 39, 59, (1998).
6.Y. Xia, P. Yang, Y. Sun, Y. Wu, B. Mayers, B. Gates, Y. Yin, F. Kim, H. Yan, Adv. Mater., 15, 353 (2003).
7.J. Hu, T. W.Odom, and C. M. Lieber, Acc. Chem. Res. 32, 435(1999).
8.T. Rueckes, K. Kim, E. Joselevich, G. Y. Tseng, C.-L. Cheung, C. M. Lieber, Science, 289, 94-97 (2000).
9.李陸玲、林寬鋸, 物理雙月刊26 期 3 卷 p. 465, 2004年6月.
10.S. M. Prokes and K. L. Wang, Mater. Res. Sci. Bull. 24, 13 (1999).
11.J. Hu, T. W. Odom, and C. M. Lieber, Acc. Chem. Res. 32, 435 (1999).
12.鄭靜、魏金明、張俊明, 物理雙月刊27 期 4 卷 p. 544, 2005年8月.
13.Y.W. Heo, D.P. Norton, L.C. Tien, Y. Kwon, B.S. Kang, F. Ren, S.J. Pearton and J.R. LaRoche, Mater. Sci. Eng. R 47 , p. 1 (2004).
14.Yi Cui, and Charles M. Lieber. Science, 291: 851(2001).
15.A.M. Morales, and C.M. Lieber, Science, 279, 208, (1998).
16.X. Duan, C. M. Lieber, Adv. Mater. 12, 298, (2000).
17.Y. Cui, X. Duan, J. Hu, C. M. Lieber, J. Phys. Chem. B 104, 5213-5216 (2000).
18.X. Duan, Y. Huang, Y. Cui, J. Wong, C. M. Lieber, Nature 409, 66 (2001).
19.Cui, Y.; Lieber, C. M. Science, 291, 891. (2000).
20.K. Nishiguchi and S. Oda, Appl. Phys. Lett. 76, p. 2922. (2000).
21.K.H. Cho et al., Appl. Phys. Lett. 90, p. 182102. (2007).
22.D. C. Look, Mater. Sci. Eng. B 80, 383 (2001).
23.M. Wraback, H. Shen, S. Liang, C.R. Gorla, and Y. Lu, Appl. Phys. Lett. 76, 507 (1999).
24.C. R. Gorla, N. W. Emanetogh, S. Liang, W. E. Mayo, Y. Lu, M. Wraback, H. Shen, J.Appl.Phys.85 2595(1998).
25.S. Krishnamoorthy, A.A. Iliadis, A. Inumpudi, S. Choopun, R.D. Vispute, and T. Venkatesan, Solid-State Electron. 46, 1631 (2002).
26.S. Liang, H. Sheng, Y. Liu, Z. Huo, Y. Lu and H. Shen, J. Crystal Growth 225, 110 (2001).
27.半導體奈米線材之操控、組裝及量測, 楊右丞著, 清華大學碩士論文.
28.W. I. Park, J. S. Kim, G.-C. Yi, M. H. Bae, H. J. Lee, Appl. Phys. Lett., 85, 5052. (2004).
29.Alessandro Pecchia, Luigi Salamandra, IEEE Transactions On Electron Devices, Vol. 54, No. 12, (2007).
30.Moon-Sook Lee, In-Seok Yeo, U-In Chung, and Joo-Tae Moon ;Nano Lett., Vol. 6, No. 7,(2006).
31.Won Il Park and Gyu-Chul Yi; Adv. Mater., 16, No. 1,(2004).
32.固態微光學腔的製作及量測, 張仕承著, 清華大學碩士論文.
33.Z.H. Hwang, J.M. Hwang, H.L. Hwang, and W.H. Hung, Appl. Phys. Lett. 84, 3759 (2004).
34.I. Adesida, A. Mahajan, E. Andideh , M. Asif Khan, D. T. Olsen, J. N. Kuznia , Appl. Phys. Lett. 63, 2777-2779. (1993).
35.R. Martel, T. Schmidt, H. R. Shea, T. Hertel, and P. Avouris, Appl. Phys. Lett. 73, 2447 (1998).
36.Min-Chang, Jeong, Byeong-Yun Oh, Appl. Phys. Lett. 88, 202105 (2006).
37.Xinyu Wang, NSTI-Nanotech, ISBN 1420063766 Vol. 4, (2007).
38.Alvarado B. Tarun, Jean N. Laniog, IEEE Transactions On Device And Materials Reliability, Vol. 4, No. 1, (2004).
39.Jiming Bao, Nano Lett., Vol. 6, No. 8, (2006).
40.Motayed et al. Appl. Phys. Lett. 90, 183120 (2007).
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)