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| 研究生： |
楊智翔 Chih-Hsiang Yang |
|---|---|
| 論文名稱： |
創新之雷射干涉微影系統與大面積奈米壓印模具之製作 The Design of a Compact Laser Interference Lithography System for the Fabrication of Large Area Nano-Imprint Mold |
| 指導教授： |
傅建中
Chien-Chung Fu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 動力機械工程學系 Department of Power Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2008 |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 77 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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