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| 研究生： |
王立明 |
|---|---|
| 論文名稱： |
以快速熱退火法製作之鈦化二矽薄膜在Si(001)基板上之磊晶關係 Epitaxial growth of TiSi2 on Si(001) by rapid thermal annealing |
| 指導教授： | 吳信田 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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