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| 研究生： |
張恩獎 Chang, En-Chiang |
|---|---|
| 論文名稱： |
自動化雷射干涉微影設備之開發與其製作之週期性奈米結構的應用 Development of the Laser Interference Lithography Equipment and the Applications of the Fabricated Periodic Nano Structures |
| 指導教授： |
傅建中
Fu, Chien-Chung |
| 口試委員: |
傅建中
Chien-Chung Fu 郭浩中 Hao-chung Kuo 李永春 Yung-Chun Lee 王倫 Lon A. Wang 宋震國 Cheng-Kuo Sung 楊尚達 Shang-Da Yang |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 138 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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