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| 研究生： |
亞諾拉 Zope, Anurag |
|---|---|
| 論文名稱： |
應用於感測與頻率控制之熱致動壓阻式CMOS-MEMS共振器與振盪器開發 CMOS-MEMS Thermal-Piezoresistive Resonators and Oscillators for Sensing and Frequency Control |
| 指導教授： |
李昇憲
Li, Sheng-Shian |
| 口試委員: |
邱一
Chiu, Yi 鄭裕庭 Cheng, Yu-Ting 李尉彰 Li, Wei-Chnag 方維倫 Fang, Wei-Leun 盧向成 Lu, Siang-Cheng |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 奈米工程與微系統研究所 Institute of NanoEngineering and MicroSystems |
| 論文出版年： | 2021 |
| 畢業學年度： | 109 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 119 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/06 (校內網路)全文公開日期 2026/07/06 (校外網路)