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| 研究生： |
陳建亨 Jiann-heng Chen |
|---|---|
| 論文名稱： |
低壓化學氣相沉積氮化鈦在淺接面上之應用研究 Study of application of LPCVD TiN on shallow junction |
| 指導教授： |
葉鳳生,楊銀圳
Fon-shan Huang , Ying-chuan Yang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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