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| 研究生： |
黃瑤琳 Yao-Lin Huang |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫化學氣相沉積擴散阻障層氮化鉭薄膜之研究 Study of the low temperature LPCVD diffusion barrier TaN film |
| 指導教授： |
葉鳳生
Fon-Shan Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2003 |
| 畢業學年度： | 91 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 54 |
| 相關次數： | 點閱：27 下載：0 |
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