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| 研究生： |
楊應國 Yang, Ying-Guo |
|---|---|
| 論文名稱： |
退火對矽膜之表面粗糙度,厚度及膜內孔洞之影響 The effect of si film annealing for surface roughness, Thickness,and void fraction. |
| 指導教授： |
甘炯耀
Gan, Jiong-Yue |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 81 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 59 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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