研究生: |
何人杰 Her ren-jye |
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論文名稱: |
EWMA控制器非固定折扣因子之研究 The research of EWMAcontroller with non-constant discount factor |
指導教授: |
曾勝滄
Tseng sheng-tsaing |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
理學院 - 統計學研究所 Institute of Statistics |
論文出版年: | 2000 |
畢業學年度: | 88 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 50 |
中文關鍵詞: | 自動製程控制 、回饋控制 |
外文關鍵詞: | EWMA controller, feedback control, MMSE control |
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本文考慮一簡單且實用之輸入-輸出模式如下,假設製程在時間t的輸出值(Yt)可表示成輸入值(Xt-1)的線性函數。回饋控制的觀念是藉由調整輸入變數,使得所要控制的輸出變數儘可能的在目標值上,然後再經由輸出變數對目標值的誤差去計算下一次輸入變數所應增加或減少的量。在回饋控制上採用EWMA統計量來估計模式中未知參數,再由估計之參數來調整製程輸入值,此一控制器稱之為EWMA控制器。
傳統之EWMA控制器所選擇之折扣因子通常考慮為一固定常數,它很難同時兼顧到減少製程初始偏差和製程輸出值之變異數,因此本文考慮在製程干擾(Process disturbance)已知的情況下,以加重折扣因子的觀念來調整製程,其使製程之均方差(Mean Square Error:MSE)極小化。另外當製程干擾未知時,本文推薦一方法,利用製程輸出值之偏差情況來自我調整折扣因子,以克服製程未知的困擾,最後探討此種方法跟傳統固定折扣因子的優劣。
1.1 前言
1.2 研究動機與目的
1.3文獻探討
1.4研究範圍與限制
1.5 研究架構
第二章 Single EWMA控制器
2.1 Single EWMA控制器之文獻探討
2.2 製程干擾分配已知下之非固定折扣因子控制器
2.3 製程干擾分配未知下之穩健控制器
第三章 Double EWMA控制器
3.1 Double EWMA控制器之基本性質
3.2 製程干擾分配未知下之穩健控制器
第四章 結論與討論
附錄
參考文獻
[1] Butler, S.W. and Stefani, J.A. (1994) Supervisory run-to-run control of a polysilicon gate etch using in situ Ellipsometry. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 7, 193-201.
[2] Del Castillo, E. (1999) Long run and transient analysis of a double EWMA feedback controller. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 31, 1157-11169.
[3] Del Castillo, E. and Hurwitz, A. (1997) Run to run process control: A literature review and some extensions. Journal of Quality Technology, 29,184-196.
[4] Box, G. and Alberto Luceno (1997) Statistical Control by Monitoring and Feedback Adjustment. New York : Wiley.
[5] Ingolfsson, A. and Sachs, E. (1993) Stability and Sensitivity of an EWMA controller. Journal of Quality Technology, 25,271-287.
[6] Montgomery, D. C.; Keats, J. B.; Runger, G. C.; and Messina, W. S.(1994) Integrating Statistical Process Control and Engineering Process Control. Journal of Quality Technology, 26,79-87.
[7] Patel, N.S. and Jenkins, S.T. (2000) Adaptive Optimization of Run-to-Run Controllers: The EWMA Example. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 13, 97-107.
[8] Tsung F. ; Wu, H.; and Nair, V. N.(1998) On the Efficiency of Robustness of Discrete Proportional-Integral Control Schemes. Technometrics, 40,214-222.
[9] Tsung, F. and Shi, J.(1998) Integrated Design of Run-To-Run PID Controller and SPC Monitoring for Process Disturbance Rejection. IIE Transactions (to appear)
[10] Tsung, F.; Jianjun S. and C.F.J. Wu (1999) Joint Monitoring of PID-Controlled Process. Journal of Quality Technology, 31,275-285.
[11] 莊達人(1996) VLSI製造技術。高立圖書有限公司。