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研究生: 官嘉玲
C. L. Kuan
論文名稱: 紫外光臭氧處理對氧化銦錫與有機半導體接面電性之影響
The effect of electric property of contact bteween ITO and HIL by UV-ozone treatment
指導教授: 黃倉秀
T. S. Huang
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 材料科學工程學系
Materials Science and Engineering
論文出版年: 2003
畢業學年度: 91
語文別: 中文
論文頁數: 80
中文關鍵詞: 氧化銦錫紫外光臭氧電洞注入層遷移長度量測理論
外文關鍵詞: ITO, UV-ozone, Hole Injection Layer, Transfer Length Method
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  • 本論文主要探討氧化銦錫(ITO)導電玻璃經過紫外光臭氧(UV-ozone)照射後,對ITO與不同電洞注入層間接面電性的影響。電洞注入層薄膜為PEDOT CH8000、PEDOT AI4083、PAni及CuPc等四種材料。比較 Glass/ITO/電洞注入層的可見光穿透率;ITO/電洞注入層在大氣中的穩定性;UV-ozone照射時間對總電阻值的影響,以及藉由遷移長度測量法(TLM)分析各種電洞注入層的片電阻值以及其與ITO接面的特徵接面電阻值的變化。
    研究結果顯示,在可見光範圍內,平均光穿透率以PEDOT CH8000(88%)最高,依次為PEDOT AI4083(83%)、CuPc(77%)、PAni(41%)。四種電洞注入層在大氣中的穩定性,以ITO/PEDOT AI4083最佳,依序為ITO/CuPc、ITO/PAni,以ITO/PEDOT CH8000的穩定性最差。ITO/電洞注入層的總電阻值會隨著UV-ozone照射時間的增長而降低,和電洞注入層本身在大氣中的穩定性有關。ITO/PEDOT CH8000、ITO/PAni及ITO/CuPc界面並不是良好的歐姆接面,只有ITO/PEDOT AI4083具有歐姆接面特性。電洞注入層薄膜的片電阻值以CuPc (1×109 Ω/sq.)為最大,依序為PEDOT CH8000 (5×108 Ω/sq.)、PEDOT AI4083 (3×106 Ω/sq.)、PAni (2×105 Ω/sq.),片電阻值不隨UV-ozone照射的處理而改變。特徵接面電阻值以ITO/PEDOT CH8000為最大 (1.8×10-1Ω-m2),依次為ITO/CuPc (1.2×10-1Ω-m2)、ITO/PEDOT AI4083 (1.1×10-4Ω-m2),以ITO/PAni (3.1×10-5Ω-m2)的特徵接面電阻值最小。特徵接面電阻值隨UV-ozone照射時間增長而降低,其下降在UV-ozone照射30分鐘後趨於平緩。


    目錄 摘要..................................................Ⅰ 致謝...................................................Ⅱ 目錄...................................................Ⅲ 表格目錄...............................................Ⅳ 圖片目錄...............................................Ⅴ 第一章 緒論............................................1 第二章 實驗方法與步驟..................................9 第三章 結果與討論.....................................14 1. 可見光穿透率分析....................................14 2. 電洞注入層與ITO接面電流-電壓特性....................15 3. 放置時間對總電阻值的影響............................15 4. UV-ozone 照射時間對總電阻值的影響..................17 5. 電洞注入層片電阻及特徵接面電阻分析..................18 第四章 結論...........................................20 參考文獻..............................................22 表格.................................................表1 圖表...........................................圖1 ~圖42

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