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| 研究生： |
沈庚輝 Shen, Keng-Hui |
|---|---|
| 論文名稱： |
低電阻率自我對準金屬矽化物在矽晶與三五化合物半導體上之成長 Enhanced Growth of Low-Resistivity Self-Aligned Metal Silicides on Silicon and III-V Compound Semiconductors |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih-Juann |
| 口試委員: |
鄭晃忠
Cheng, Huang-Chung 吳文偉 Wu, Wen-Wei 呂明諺 Lu, Ming-Yen 陳仕鴻 Chen, Szu-Hung |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2017 |
| 畢業學年度： | 105 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 103 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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