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| 研究生： |
劉重希 Liu, Chung Shi |
|---|---|
| 論文名稱： |
銅薄膜與矽晶界面反應以及極大型積體電路銅金屬化材料問題研究 Interfacial Reactions of Copper Thin Films on Silicon |
| 指導教授： |
陳力俊
Chen, Lih Juann |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 83 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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