研究生: |
李庭芝 Lee, Ting-chi |
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論文名稱: |
濺鍍鋁膜應力行為之探討 The Investigation of The Stress Behavior of Sputter Deposited Al Thin Film |
指導教授: |
周卓煇
Jou,Jwo-Huei |
口試委員: | |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
畢業學年度: | 83 |
語文別: | 中文 |
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