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研究生: 陳瑋頡
論文名稱: 矽化鍺掩埋式通道應用於奈米線通道複晶矽快閃記憶體元件之特性研究
Characteristics of SiGe Buried Channel on Nanowire Poly-Si Flash Memory Device
指導教授: 張廖貴術
口試委員: 張廖貴術
趙天生
謝嘉民
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 原子科學院 - 工程與系統科學系
Department of Engineering and System Science
論文出版年: 2014
畢業學年度: 103
語文別: 中文
論文頁數: 91
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