研究生: |
孫昀陽 Sun, Yun-Yang |
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論文名稱: |
高功率脈衝磁控濺鍍製備氮化鉬薄膜之破裂韌性及氮化鉬/鈦雙層薄膜之應力量測 Measurements of Fracture Toughness of γ-Mo2N and Residual Stress of γ-Mo2N/Ti Bilayer Coatings by High Power Impulse Magnetron Sputtering |
指導教授: |
黃嘉宏
Huang, Jia-Hong |
口試委員: |
吳芳賓
Wu, Fan-Bean 林郁洧 Lin, Yu-Wei |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2024 |
畢業學年度: | 112 |
語文別: | 英文 |
論文頁數: | 76 |
相關次數: | 點閱:3 下載:0 |
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