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| 研究生： |
傅宗民 Fu; Chung Min |
|---|---|
| 論文名稱： |
電子迴旋共振化學氣相沉積法之碳化矽低溫成長 Low Temperature Growth of SiC by ECR-CVD |
| 指導教授： |
張一熙 ; 游萃蓉
Chang Yee Shyi ; Yew Tri Rung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 46 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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