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研究生： 康沛豪
Kang, Pei-Hao
論文名稱： 使用Ti/Ni雙層結構催化劑提高Si陽極之電解水效能
Enhanced Water Splitting Performance of Si Photoanode using Ti/Ni double layer
指導教授： 吳孟奇
Wu, Meng-Chyi
口試委員: 程育人
Cheng, Yuh-Jen
楊智超
Yang, Jhih-Chao
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 電機資訊學院 - 電子工程研究所
Institute of Electronics Engineering
論文出版年： 2018
畢業學年度： 106
語文別： 中文
論文頁數： 44
中文關鍵詞： 光電解水 、快速熱退火 、Ti/Ni雙層結構
外文關鍵詞： Photoelectrochemical water splitting, Rapid thermal annealing, Ti/Ni double layer
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    • 在本論文中，我們使用快速熱退火(RTA)方法將鍍在Si上的鈦(Ti)薄膜加熱轉換成TiSi2，再以鎳(Ni)薄膜當作催化劑蒸鍍至TiSi2上，進行光電化學反應產氫，我們使用循環安伏法量測光電特性，來觀察各種鈦薄膜經過不同快速熱退火製程後之光電特性，以及使用開路電壓法量測其光電壓。
    我們得到25、50Å鈦薄膜經過500℃ RTA轉換成TiSi2後，相比於25、50Å鈦薄膜經過其他溫度快速熱退火的電極，在照光電解下有更大的光電壓、更低的起始電位，以及效率更高的光電化學陽極。

    In this paper, we use a rapid thermal annealing (RTA) method to convert titanium (Ti) film coated on Si into TiSi2 ,then deposit nickel (Ni) film as a catalyst on TiSi2 to perform photoelectrochemical water splitting reaction. Cyclic voltammetry method is used to measure the photoelectric water splitting performance of various TiSi2 processing samples .Open circuit voltage was used to measure the photovoltage.
    We show that TiSi2 from annealing 25 Å and 50 Å titanium film at 500℃, as compared to 25 Å and 50 Å titanium thin film and other annealing temperature, is a more efficient photoanode that has a larger photovoltage, lower onset potential under illumination .

    摘要..........................................I ABSTRACT......................................II 目錄..........................................III 圖目錄........................................IV 表目錄........................................VIII 第一章 緒論...................................1 1.1概述.......................................1 1.2光電化學產氫原理............................3 1.3歷史發展和文獻..............................5 1.4循環伏特安培原理............................6 第二章 研究方法與實驗步驟.......................8 2.1實驗動機與參考文獻...........................8 2.2實驗樣品與設備.............................. 9 2.3實驗流程....................................10 第三章 實驗結果與分析...........................14 3.1 NI FILM電解水產生的活化現象.................14 3.2 NI FILM 在RTA加熱後的TI做光電解水結果比較....16 3.3光電壓量測..................................29 3.4 TI/NI在RTA加熱後做光電解水結果比較...........35 第四章 結論....................................42 第五章 參考文獻................................43

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