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| 研究生： |
張文端 Chang, Wen Tuan |
|---|---|
| 論文名稱： |
以二氟次矽基與四氯甲烷、四鹵化鍺為先驅物製作薄膜之研究 The Study of the Thin Films Growth by Using Tetrachloromethane、 Germanium Tetrahalide and Difluorosilylene as Precursors |
| 指導教授： |
劉兆玄
Liu Chao Shiuan |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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