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研究生： 劉昌曜
Liu, Chang-Yao
論文名稱： 大面積液態製程有機發光二極體之關鍵製程研究
The key process for large-area blade-coating polymer/organic light emitting diode
指導教授： 洪勝富
Horng, Sheng-Fu
口試委員:
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 電機資訊學院 - 光電工程研究所
Institute of Photonics Technologies
論文出版年： 2010
畢業學年度： 98
語文別： 中文
論文頁數： 77
中文關鍵詞： 有機發光二極體 、均勻性 、刮刀 、多層結構
外文關鍵詞： organic light-emitting diode, uniformity, blade, multilayer
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    • 本論文以發展大面積液態製程有機發光二極體之製程為目的，研究重點在於大面積有機發光二極體之成膜均勻性及解決多層結構之互溶性問題。
    在本研究中，結合傳統液態製程的旋轉塗佈以及工業上廣被使用的刮刀製程，自行發展為刮旋製程，相較於熱蒸鍍製程的有機發光二極體，以此方式可輕易達到均勻的5cm×5cm 大面積多層結構有機發光二極體，也可應用於塑料及金屬之軟性基板；在大面積有機發光二極體中，存在亮度分佈不均勻的問題，因此也分析了銦錫氧化物所產生的阻值效應對於亮度之影響；另外為了使大面積有機發光二極體發展
    具捲對捲製程之潛力，亦研究純刮刀之技術，在只以刮刀作為塗佈方式的製程中，可將成膜厚度之平整度控制於±5nm 以內，對於液態製程，此為極大之突破；除此之外，更與民間單位共同建立半自動塗佈機台，以期能與產業有所結合。

    目錄 摘要 Abstract 致謝 目錄 表目錄 圖目錄 第一章 序論 1-1 前言 1-2 有機發光二極體發展歷程 1-3 研究動機 1-4 論文架構 第二章 理論背景 2-1 有機發光二極體之工作原理 2-2 螢光單重態與磷光三重態理論 2-3 能量轉移機制 2-3-1 輻射能量轉移 2-3-2 非輻射能量轉移 2-4 有機材料與金屬接面 2-4-1 蕭基接面 2-4-2 歐姆接面 2-5 有機材料載子傳輸理論 2-5-1 塊材限制 2-5-2 界面限制 第三章 實驗介紹 3-1 有機發光二極體溶液製程介紹 3-1-1 ITO 玻璃基板蝕刻 3-1-2 基板表面處理 3-1-3 電洞傳輸層PDEOT：PSS 成膜方法 3-1-4 主動區成膜 3-1-5 陰極蒸鍍與封裝 3-2 元件量測系統 3-2-1 基板平整度量測 3-2-2 有機層成膜厚度量測 3-2-3 元件電光特性量測 3-3 有機材料介紹 3-3-1 電洞注入/傳輸材料 3-3-2 電子傳輸材料 3-3-3 發光材料 第四章 製程發展與實驗分析 4-1 刮旋製程 4-1-1 刮刀製程介紹 4-1-2 刮旋製程介紹 4-1-3 利用刮旋製程製作大面積之多層結構有機發光二極體 4-1-4 刮旋製程實驗成果 4-2 純刮刀製程 4-2-1 純刮刀製程介紹 4-2-2 大面積單層結構均勻度控制 4-2-3 純刮刀製程實驗結果 4-3 銦錫氧化物阻值效應 4-3-1 銦錫氧化物串聯電阻之電位分佈 4-3-2 新式樣圖案設計 4-4 軟性基板之應用 4-5 半自動塗佈機台設計 4-6 熱退火時間對產率及元件表現之影響 第五章 結論與未來展望 參考文獻 附錄

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