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| 研究生： |
萬文武 Wan-Wen-Wu |
|---|---|
| 論文名稱： |
掃描電容顯微鏡量測分析技術於探討退火製程對半導體超淺接面特性之影響研究 Characterization of semiconductor ultra-shallow junctions against various post-annealing conditions using scanning capacitance microscopy |
| 指導教授： | 梁正宏 博士張茂男 博士 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 畢業學年度： | 92 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 67 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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