研究生: |
劉智瑋 Liu, Chih-Wei |
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論文名稱: |
閘極介面工程對鍺互補式金氧半鰭式電晶體電特性研究 Interfacial Layer Engineering in Gate Stack on Electrical Characteristics in Ge CMOS FinFET |
指導教授: |
張廖貴術
ChangLiao, Kuei-Shu |
口試委員: |
趙天生
Chao, Tien-Sheng 李耀仁 Lee, Yao-Jen |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
論文出版年: | 2020 |
畢業學年度: | 109 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 104 |
相關次數: | 點閱:4 下載:0 |
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