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| 研究生： |
江政毅 |
|---|---|
| 論文名稱： |
雙對準4H碳化矽垂直型金氧半場效電晶體 之新穎離子佈植遮罩製程研發 Development of Novel Implant Masking Processes for Double Self-Aligned 4H-SiC DMOSFETs |
| 指導教授： | 黃智方 |
| 口試委員: |
蔡銘進
盧向成 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電子工程研究所 Institute of Electronics Engineering |
| 論文出版年： | 2014 |
| 畢業學年度： | 102 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 56 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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