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| 研究生： |
楊青松 Yang,Ching Song |
|---|---|
| 論文名稱： |
五價元素在複晶矽中對硼在薄氧化層穿透效應之研究 Effects of Group-V Elements Co-Implant in Polysilicon Gate on n Penetration in MOS Device |
| 指導教授： |
徐清祥
C.C.-H Hsu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 論文出版年： | 1987 |
| 畢業學年度： | 83 |
| 語文別： | 中文 |
| 相關次數： | 點閱：1 下載：0 |
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