本研究以半導體廠為例，特別是以矽甲烷供應系統設計的角度，去建立系統設置時應注意或遵守的設計屬性與規範，並建立矽甲烷供應系統危害分析參考指標，藉此降低矽甲烷洩漏風險的適當控制。利用失誤模式與影響分析(Failure Modes and Effects Analysis，FMEA)來分析問題點，以追蹤因設備故障所導致洩漏的問題點，並增加矽甲烷供應系統的穩定性、提升人員作業的安全性、提高供應氣體的品質、減少意外災害發生機率。經由研究結果顯示，該氣體供應系統在導入FMEA分析方法後，可明顯獲得失效改善之重點，並經由改善措施使得風險優先指數降低。並藉此不斷的改善系統，以提昇系統之可靠度。

1.(2002)，勞動檢查法施行細則，行政院勞委會http://laws.cla.gov.tw/Chi/FLAW/FLAWQRY01-1.asp(2010/02/01)
2.曹常成(2007)，從高科技廠房工安事故探討火災爆炸預防，工業安全科技
3.劉立文(2009)，高科技行業使用新興材料職業衛生危害性調查研究，行政院勞委會勞研所
4.黃建彰(2000)，半導體製造業晶圓廠設施安全評估-正壓設施，行政院勞委會勞研所
5.張榮哲、張翼、戴寶通(2007)，FMEA應用於降低廠務監控系統運轉風險之探討-以半導體廠氣體化學系統為例，奈米通訊第十四卷第2期
6.王書龍(1998)，經由更好的安全設計來減少危害，勞工安全衛生簡訊第35期
7.王世煌(2001)，半導體製程風險評估，化工製程安全第48卷第5期
8.吳貴彬、陳相如(2003)，失效模式與效應分析之應用，中華民國品質學會第39 屆年會暨第9 屆全國品質管理研討會
9.張燦明、吳英偉、何境峰、江瑞坤(2004)，「製程FMEA」在汽車零件製造的實證研究，修平學報第九期
10.吳世芳(1993)，「設計FMEA之實施流程」，品質管制月刊，第二十九卷第九期
11.林瑞玉(2003)，矽甲烷供應系統相關製程危害分析資料庫建置與應用研究，國立交通大學工學院產業安全與防災學程碩士論文
12.王嘉麟(2006)，運用失效模式與影響分析評估矽甲烷供應系統之安全性-以TFT-LCD廠為例，國立交通大學工學院產業安全與防災學程碩士論文
13.張榮哲(2006)，FMEA應用於降低廠務監控系統運轉風險之探討 - 以半導體廠氣體化學系統為例，國立交通大學工學院產業安全與防災學程碩士論文
14.張庭瑞(2008)，晶圓廠氣化供應系統風險評估與異常事故分析研究」，元智大學化學工程與材料科學碩士論文
15.陳焜燿(2008)，危害分析應用於製程持續改善之研究 －以高科技產業矽甲烷混合氣供應系統為例，國立交通大學工學院產業安全與防災學程碩士論文
16.防災教育改進計劃http://hmedu.ncdr.nat.gov.tw/edu/res_teach-college/pdf/man.../023_5_003.pdf(2010/02/01)
17.蔡曉雲、沈俊成、陳政任、Eugene Y. Ngai、黃百平、官嘉明(2006)，矽甲烷外洩之危害測試，簡訊第二十七期
18.Chowdhury,N.M.(2001),半導體製造中矽甲烷之大型化供應與其安全測試研究─含美國CGA協會大型供應規模測試結果，http://ssttpro.acesuppliers.com/news/new_1_807.html (2010/02/01)
19.林義一(2003)，工業氣體運輸安全與緊急應變，工安科技
20.廖宏章，緊急應變，中國醫藥學院職安系，www.safelab.edu.tw/t06-train/safety-train-ppt/7.ppt (2010/02/01)
21.邱木全、陳俊瑜(2001)，半導體CVD 製程中氣體及化學品之管理，化工製程本質安全設計與應用專刊第48卷第4期
22.張振平、游逸駿(2000)，晶圓廠化學氣相沉積製程預防保養作業化學性危害調查，行政院勞委會勞研所
23.吳世全，半導體廠務工作_奈米通訊第六卷第二期，http://www.ndl.org.tw/cht/ndlcomm/P6_2/1.htm(2010/02/01)
24.李政儒(2006)，應用FMEA在建築物中央空調與煙控併用系統風險評估之研究，國立台灣科技大學自動化及控制研究所碩士論文
25.陳俊維(2004)，FMEA應用於提昇潔淨室H.V.A.C系統可靠度之研究，國立成功大學資源工程學系碩士論文
26.半導體製程及原理，http://www2.nsysu.edu.tw/IEE/lou/elec/web/process/semi.htm(2010/02/01)
27.沈育霖、高梓木(2009)，危險性機械設備風險評估指引，行政院勞委會勞研所
28.曹常成、洪銀忠(2009)，風險評估在石化業安全衛生管理之角色與功能，行政院勞委會勞研所
29.郭今玄、吳佳蓉、陳俊瑜(2006)，環境與安衛風險評估整合工具之建置與應用研究—以研究機構為例，勞工安全衛生研究季刊第14卷第3期
30.(2002)，機械設備危害評估方法，行政院勞委會勞研所http://www.iosh.gov.tw/Publish.aspx?cnid=31&P=542(2010/02/01)
31.張承明(1994)，製程安全管理，勞工安全衛生簡訊第8期
32.(2002)，勞動檢查法，行政院勞委會，http://laws.cla.gov.tw/Chi/FLAW/FLAWQRY01-1.asp(2010/02/01)
33.高崇洋、鄭子涵(2009)，防災監控系統技術研究--風險等級、預測及連動機制，行政院勞委會勞研所