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| 研究生： |
陳承先 Chen, Cheng Hsien |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿輔助化學氣相沉積低溫矽磊晶成長 Low Temperature Epitaxial Growth by PECVD |
| 指導教授： |
萬其明; 游萃蓉
Wan, Chi Meen; Yew, Tri Rung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 畢業學年度： | 81 |
| 語文別： | 英文 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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