簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
吳清沂 |
|---|---|
| 論文名稱： |
電漿化學氣相蒸鍍氮氧化矽於III-V族化合物半導體其薄膜與界面特性之研究 Study of dielectric film and interfacial properties of plasma-enhanced chemical vapour deposited (PECVD) silicon oxy-nitride (SiOxNy) on III-V compound semiconductors (GaAs and InP) |
| 指導教授： | 林敏雄 |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 75 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)