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| 研究生： |
郭雨潔 Kuo, Yu-Chieh |
|---|---|
| 論文名稱： |
金屬錫團簇與錫釩氧酸鹽光阻材料之合成並應用於極紫外光及電子束微影 Synthesis of Photoresist Materials with Tin Clusters and Tin- Vanadium Polyoxometalate and Apply to Extreme Ultraviolet and Electron Beam Photolithography |
| 指導教授： |
劉瑞雄
Liu, Rai-Shung |
| 口試委員: |
高蔡勝
Kao, Tsai-Sheng 林俊宏 Lin, Chun-Hung |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 化學系 Department of Chemistry |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 186 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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全文公開日期 2028/07/24 (校內網路)全文公開日期 2028/07/24 (校外網路)