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| 研究生： |
潘仁泉 Jen-Chuan Pan |
|---|---|
| 論文名稱： |
超大型積體電路無電極電鍍銅沉積在鉭、氮化鉭、氮化鈦基底之研究 Electroless Copper Deposition on Ta、TaN、TiN Bases for ULSI |
| 指導教授： |
葉鳳生
Fon-Shan Huang |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
電機資訊學院 - 電機工程學系 Department of Electrical Engineering |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 76 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
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