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| 研究生： |
許永昇 Yung-Sheng Hsu |
|---|---|
| 論文名稱： |
以二維流體模式模擬研究電感式氯氣電漿源 Two-dimensional Simulation of Fluid Model for Chlorine Discharges in Inductively Coupled Plasma Sources |
| 指導教授： |
胡瑗
Yuan Hu 林滄浪 Tsang-Lang Lin |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
原子科學院 - 工程與系統科學系 Department of Engineering and System Science |
| 畢業學年度： | 87 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 90 |
| 相關次數： | 點閱：4 下載：0 |
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