簡易檢索 / 詳目顯示
| 研究生： |
張志祥 Chich-Shang Chang |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用低壓化學氣相沉積法製作動態隨機存取記憶體之(Ta2O5)1-x_(TiO2)x介電薄膜的研究 The Study of (Ta2O5)1-x_(TiO2)x Thin Films Deposited by Chemical Vapor Deposition for DRAMs Applications |
| 指導教授： |
吳泰伯
Tai-Bor Wu |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
博士 Doctor |
| 系所名稱： |
工學院 - 材料科學工程學系 Materials Science and Engineering |
| 論文出版年： | 2000 |
| 畢業學年度： | 88 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 340 |
| 相關次數： | 點閱：2 下載：0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)