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| 研究生： |
許乃玉 N. Y. Hsu |
|---|---|
| 論文名稱： |
大面積射頻電容式偶合電漿源之特性量測 Characteristics of a Large Area RF Capacitively Coupled Plasma |
| 指導教授： |
寇崇善
C. S. Kou |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 物理學系 Department of Physics |
| 論文出版年： | 2002 |
| 畢業學年度： | 90 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 48 |
| 相關次數： | 點閱：3 下載：0 |
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